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投影光刻物镜波像差的公差分析方法
成像系统 | 更新时间：2025-09-01

    • 投影光刻物镜波像差的公差分析方法

    • A method of tolerance analysis for wavefront error of lithographic projection lens

    • 光学技术   2014年40卷第4期 页码：289-294

    • DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.04.001    

      中图分类号：

    • 纸质出版：2014

    移动端阅览

  • 符媛英, 李艳秋, 刘晓林, 等. 投影光刻物镜波像差的公差分析方法[J]. 光学技术, 2014,40(4):289-294. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.04.001.

    A method of tolerance analysis for wavefront error of lithographic projection lens[J]. 2014, 40(4): 289-294. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.04.001.

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