基于线切割机加工硅分光晶体的研究

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基于线切割机加工硅分光晶体的研究

光学工艺 | 更新时间：2025-09-01

- 基于线切割机加工硅分光晶体的研究
- Study on manufacturing a single-crystal silicon monochromator using wire saw machine
- 光学技术 2014年40卷第4期页码：302-306
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院上海应用物理研究所
  2. 2:中国科学院大学
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金项目(11175243)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.04.004
  中图分类号：
- 纸质出版：2014
- 稿件说明：
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冯新康, 徐中民, 张翼飞, 等. 基于线切割机加工硅分光晶体的研究[J]. 光学技术, 2014,40(4):302-306.

Study on manufacturing a single-crystal silicon monochromator using wire saw machine[J]. 2014, 40(4): 302-306.
冯新康, 徐中民, 张翼飞, 等. 基于线切割机加工硅分光晶体的研究[J]. 光学技术, 2014,40(4):302-306. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.04.004.

Study on manufacturing a single-crystal silicon monochromator using wire saw machine[J]. 2014, 40(4): 302-306. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.04.004.

单晶硅分光晶体作为同步辐射光源光束线单色器中常用的部件

由于它对加工精度的要求越来越高

所以减小加工过程中产生的残余应变显得尤为重要。介绍了线切割机加工单晶硅晶体的主要过程

包括晶体定向的原理

线切割机加工硅分光晶体的方法

检测加工表面的粗糙度和面形。此外还利用上海光源BL14B线站测量了它的摇摆曲线

其结果满足设计要求。

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