基于AVR单片机的高精度光学测厚系统设计

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光学仪器与光学设计 | 更新时间：2025-09-01

- 基于AVR单片机的高精度光学测厚系统设计
- Design of high precision optical thickness measurement system based on AVR single chip microcomputer
- 光学技术 2014年40卷第6期页码：539-542
- 作者机构：
  
  1:宁夏师范学院物理与信息技术学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.06.012
  中图分类号：
- 纸质出版：2014
- 稿件说明：
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赵兴龙. 基于AVR单片机的高精度光学测厚系统设计[J]. 光学技术, 2014,40(6):539-542.

Design of high precision optical thickness measurement system based on AVR single chip microcomputer[J]. 2014, 40(6): 539-542.
赵兴龙. 基于AVR单片机的高精度光学测厚系统设计[J]. 光学技术, 2014,40(6):539-542. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.06.012.

Design of high precision optical thickness measurement system based on AVR single chip microcomputer[J]. 2014, 40(6): 539-542. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.06.012.

对薄膜测厚系统进行了详尽剖析

从整体上论述了膜厚测量系统

研究了测厚系统中薄膜测厚仪的关键硬件电路

对薄膜测厚仪的软件流程进行了离散设计。以AVR单片机为核心处理器进行了数据采集和处理

设计并生产出了在线式光学薄膜厚度测量与监控系统。通过与实际膜厚进行对比实验

验证了薄膜测厚系统具有高精度、高稳定性和高可靠性

可应用于实际工业生产。

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