激光差动共焦显微成像中的轴向快速定焦方法

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光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 激光差动共焦显微成像中的轴向快速定焦方法
- The method of axial fast identified focus of laser differential confocal microscopy imaging
- 光学技术 2015年41卷第5期页码：385-389
- 作者机构：
  
  1:北京理工大学光电学院"精密光电测试仪器及技术"北京市重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学纳米制造重大研究计划资助项目(91123014);国家重大科学仪器开发专项(2011YQ04013601);国家高技术研究发展计划(SS2012AA040507)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2015.05.001
  中图分类号：
- 纸质出版：2015
- 稿件说明：
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毛新越, 赵维谦, 王允, 等. 激光差动共焦显微成像中的轴向快速定焦方法[J]. 光学技术, 2015,41(5):385-389.

The method of axial fast identified focus of laser differential confocal microscopy imaging[J]. 2015, 41(5): 385-389.
毛新越, 赵维谦, 王允, 等. 激光差动共焦显微成像中的轴向快速定焦方法[J]. 光学技术, 2015,41(5):385-389. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2015.05.001.

The method of axial fast identified focus of laser differential confocal microscopy imaging[J]. 2015, 41(5): 385-389. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2015.05.001.

提出了一种基于光强信号实时判断的快速定焦方法

在对样品进行横向扫描的同时

驱动测量物镜轴向移动

对前焦探测器和后焦探测器采集到的光强信号进行实时处理

通过实时判断测量面与样品的位置关系迅速找到焦面位置

可实现快速、准确的轴向定焦

极大地提升了定焦速度。理论分析和初步的实验表明

该方法在一副图像的采集周期内能够实现轴向定焦

在同等定焦精度条件下

与清晰度定焦方法相比

可节省90℅以上的定焦时间。

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