硅V型槽表面形貌的OCT可视化测量

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硅V型槽表面形貌的OCT可视化测量

光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 硅V型槽表面形貌的OCT可视化测量
- Visualization measurement for the surface topology of silicon V-groove using optical coherence tomography(OCT)
- 光学技术 2016年42卷第6期页码：534-537
- 作者机构：
  
  1. 1:渭南师范学院物理与电气工程学院
  2. 2:陕西省X射线检测与应用研究开发中心
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  陕西省教育厅科研计划项目(15JK1252,15JK1380);渭南师范学院科研计划项目(15ZRRC08);渭南师范学院特色学科建设项目(14TSXK07)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2016.06.011
  中图分类号：
- 纸质出版：2016
- 稿件说明：
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秦玉伟. 硅V型槽表面形貌的OCT可视化测量[J]. 光学技术, 2016,42(6):534-537.

Visualization measurement for the surface topology of silicon V-groove using optical coherence tomography(OCT)[J]. 2016, 42(6): 534-537.
秦玉伟. 硅V型槽表面形貌的OCT可视化测量[J]. 光学技术, 2016,42(6):534-537. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2016.06.011.

Visualization measurement for the surface topology of silicon V-groove using optical coherence tomography(OCT)[J]. 2016, 42(6): 534-537. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2016.06.011.

介绍了一种硅V型槽表面形貌测量的可视化方法

分析了谱域OCT的测量原理。利用谱域OCT实验测量系统进行了硅V型槽的成像实验

得到了硅V型槽的二维层析图像;通过分析二维层析图像

获取了硅V型槽的结构尺寸

实现了硅V型槽表面形貌的高精度可视化测量。

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