像质补偿在高分辨物镜精密装调中的应用

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像质补偿在高分辨物镜精密装调中的应用

光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 像质补偿在高分辨物镜精密装调中的应用
- The application of image quality compensation methods in fine assembly of the high resolution lens
- 光学技术 2018年44卷第1期页码：117-122
- 作者机构：
  
  1. 1:北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
  2. 2:中国科学院光电技术研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家科技重大专项项目(2012ZX02702001-002);国家自然科学基金青年科学基金项目(61205164)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2018.01.021
  中图分类号：
- 纸质出版：2018
- 稿件说明：
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季振波, 刘克, 李艳秋, 等. 像质补偿在高分辨物镜精密装调中的应用[J]. 光学技术, 2018,44(1):117-122.

The application of image quality compensation methods in fine assembly of the high resolution lens[J]. 2018, 44(1): 117-122.
季振波, 刘克, 李艳秋, 等. 像质补偿在高分辨物镜精密装调中的应用[J]. 光学技术, 2018,44(1):117-122. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2018.01.021.

The application of image quality compensation methods in fine assembly of the high resolution lens[J]. 2018, 44(1): 117-122. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2018.01.021.

根据高分辨物镜各个光学元件的实测数据

应用轴向补偿和旋转补偿法

在仿真精密装调过程中得到了物镜轴向补偿器的最优值和各元件的最佳旋转角度。仿真结果表明

在97.7%的置信区间内

物镜各视场波像差RMS值从补偿前的0.087λ(λ=632.8nm)减小到了补偿后的0.040λ。依据获得的参数对物镜进行了装调实验

结果表明

激光干涉仪测得的物镜各视场波像差RMS值介于0.050~0.082λ之间

基本达到了衍射极限的分辨率要求

验证了像质补偿方法的有效性。

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