基于两步广义相移干涉术的微纳形变测量

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基于两步广义相移干涉术的微纳形变测量

光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 基于两步广义相移干涉术的微纳形变测量
- Minor surface deformation measurement based on two-step generalized phase-shifting interferometry
- 光学技术 2018年44卷第2期页码：252-256
- 作者机构：
  
  1:中国石油大学(华东)理学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(15CX05033A);大学生创新创业项目(20161427,20161442)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2018.02.023
  中图分类号：
- 纸质出版：2018
- 稿件说明：
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毕泽坤, 徐先锋, 王加栋, 等. 基于两步广义相移干涉术的微纳形变测量[J]. 光学技术, 2018,44(2):252-256.

Minor surface deformation measurement based on two-step generalized phase-shifting interferometry[J]. 2018, 44(2): 252-256.
毕泽坤, 徐先锋, 王加栋, 等. 基于两步广义相移干涉术的微纳形变测量[J]. 光学技术, 2018,44(2):252-256. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2018.02.023.

Minor surface deformation measurement based on two-step generalized phase-shifting interferometry[J]. 2018, 44(2): 252-256. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2018.02.023.

基于两步广义相移干涉术

设计微小形变测量实验装置

介绍工作原理和测量方法。采用同轴相移数字全息正交光路

记录形变前后物光、参光、干涉图强度

以两步广义相移干涉算法为基础

恢复原物光相位和表面形貌信息

相减后得到表面形变量。实验结果表明

相对于现有表面微小形变测量方法

提出得方法能够精密测量物体表面微小形变量

方法简单易行

精度可达纳米量级。

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