光谱共焦位移传感器色散镜头设计

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光谱共焦位移传感器色散镜头设计

光学仪器与光学设计 | 更新时间：2025-09-01

- 光谱共焦位移传感器色散镜头设计
- Design of dispersion lens for chromatic confocal displacement sensor
- 光学技术 2018年44卷第3期页码：381-384
- 作者机构：
  
  1:中北大学信息与通信工程学院信息探测与处理山西省重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(61601412,61571404,61471325);山西省自然科学基金资助项目(2015021099)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2018.03.023
  中图分类号：
- 纸质出版：2018
- 稿件说明：
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田雨, 刘宾. 光谱共焦位移传感器色散镜头设计[J]. 光学技术, 2018,44(3):381-384.

Design of dispersion lens for chromatic confocal displacement sensor[J]. 2018, 44(3): 381-384.
田雨, 刘宾. 光谱共焦位移传感器色散镜头设计[J]. 光学技术, 2018,44(3):381-384. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2018.03.023.

Design of dispersion lens for chromatic confocal displacement sensor[J]. 2018, 44(3): 381-384. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2018.03.023.

色散镜头是光谱共焦位移传感器的核心部件

轴向色散与波长之间的线性度直接影响系统的测量精度。研究了轴向色散与玻璃材质之间的关系

结合透镜组光焦度分配公式

分析线性色散产生条件

设计了一款色散镜头;使用ZEMAX进行仿真优化

镜头在500~700nm工作波段范围内

色散范围约为150.34μm

轴向色散与波长线性度通过一元线性拟合分析

判定系数达0.9972

镜头分辨率较高

配合现有的光谱仪使用

传感器分辨率可达纳米级

满足高精度测量要求。

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