基于高精度轮廓线激光的芯片引脚共面度视觉检测系统

宋丽梅; 杨宏超; 魏泽; 杨燕罡; 马振宇; 郭庆华

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2018.06.010

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基于高精度轮廓线激光的芯片引脚共面度视觉检测系统

光学仪器与光学设计 | 更新时间：2025-09-01

- 基于高精度轮廓线激光的芯片引脚共面度视觉检测系统
- A vision detection system for chip coplanarity based on high precision contour laser
- 光学技术 2018年44卷第6期页码：686-689
- 作者机构：
  
  1. 1:天津工业大学电工电能新技术天津市重点实验室
  2. 2:天津职业技术师范大学机械工程学院
  3. 3:天津电子信息职业技术学院数字艺术系
  4. 4:澳大利亚伍伦贡大学计算机电气工程与通信工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(51806150);天津市应用基础与前沿技术研究计划(16JCYBJC15400);天津市高等学校创新团队培养计划(TD13-5036)资助;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金(PIL1603);天津市企业科技特派员(18JCTPJC61700)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2018.06.010
  中图分类号：
- 纸质出版：2018
- 稿件说明：
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宋丽梅, 杨宏超, 魏泽, 等. 基于高精度轮廓线激光的芯片引脚共面度视觉检测系统[J]. 光学技术, 2018,44(6):686-689.

A vision detection system for chip coplanarity based on high precision contour laser[J]. 2018, 44(6): 686-689.
宋丽梅, 杨宏超, 魏泽, 等. 基于高精度轮廓线激光的芯片引脚共面度视觉检测系统[J]. 光学技术, 2018,44(6):686-689. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2018.06.010.

A vision detection system for chip coplanarity based on high precision contour laser[J]. 2018, 44(6): 686-689. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2018.06.010.

摘要

实现了一种基于数字信号处理技术的高精度轮廓线激光视觉检测装置。激光视觉检测装置采用了蓝色激光光学系统

以DSP芯片为核心对采集到的数字信号进行处理和分析;取样速度达1.28×10~7点/s。利用所述激光装置和气浮运动平台

实现了对SOP和QFP芯片引脚等小型电子部件高精度检测。所述激光装置可应用于生产线或设备上移动的产品

如黑色和光泽表面的轴承、木材或者石膏等的准确测量。

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DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2018.06.010

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