一种线阵CCD融合光栅尺的高精度尺寸测量新方法研究

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光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 一种线阵CCD融合光栅尺的高精度尺寸测量新方法研究
- Research on a new method of high precision dimension measurement based on linear CCD fused grating ruler
- 光学技术 2019年45卷第3期页码：275-281
- 作者机构：
  
  1. 1:西安建筑科技大学机电工程学院
  2. 2:中国科学院先进技术研究所
  3. 3:西北工业大学自动化学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  陕西省教育厅自然科学资助项目(17JK0445);长安大学道路施工技术与装备教育部重点实验室开放基金(310825161107);广东引进创新创业团队专项(2014ZT05G132);深圳市海外高层次人才资金(KQTD2015033117354154)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.03.004
  中图分类号：
- 纸质出版：2019
- 稿件说明：
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同志学, 白金池, 康智强. 一种线阵CCD融合光栅尺的高精度尺寸测量新方法研究[J]. 光学技术, 2019,45(3):275-281.

Research on a new method of high precision dimension measurement based on linear CCD fused grating ruler[J]. 2019, 45(3): 275-281.
同志学, 白金池, 康智强. 一种线阵CCD融合光栅尺的高精度尺寸测量新方法研究[J]. 光学技术, 2019,45(3):275-281. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.03.004.

Research on a new method of high precision dimension measurement based on linear CCD fused grating ruler[J]. 2019, 45(3): 275-281. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.03.004.

为了解决数字图像亚像素级高精度尺寸检测问题

采用了基于人工神经网络的线阵相机镜头畸变矫正方法

比传统的多项式拟合法矫正精度高且操作简便;提出了将光栅尺融入线阵相机扫描机构的新方法

利用高精度光栅尺测位移信号触发线阵CCD图像采集动作

精确获取线阵相机扫描目标的亚像素级图像。实验证明

新的测量技术可在对运动系统要求不高的情况下获取高精度图像

图像检测精度可以达到1μm。

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