基于凸壳理论圆域拟合的球面面型精度测量方法

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 基于凸壳理论圆域拟合的球面面型精度测量方法
- Spherical surface accuracy measurement method based on convex shell theory circular domain fitting
- 光学技术 2019年45卷第4期页码：429-435
- 作者机构：
  
  1:北京理工大学光电学院光学测量研究中心
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  科工局资助项目
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.04.008
  中图分类号：
- 纸质出版：2019
- 稿件说明：
移动端阅览
许鑫, 王允, 王超峰, 等. 基于凸壳理论圆域拟合的球面面型精度测量方法[J]. 光学技术, 2019,45(4):429-435.

Spherical surface accuracy measurement method based on convex shell theory circular domain fitting[J]. 2019, 45(4): 429-435.
许鑫, 王允, 王超峰, 等. 基于凸壳理论圆域拟合的球面面型精度测量方法[J]. 光学技术, 2019,45(4):429-435. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.04.008.

Spherical surface accuracy measurement method based on convex shell theory circular domain fitting[J]. 2019, 45(4): 429-435. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.04.008.

针对干涉测量中采集到的波面数据是大量离散采样点不易寻找单位圆用于波面拟合的问题

提出了一种凸壳理论圆域拟合的方法。方法对采集的波面数据寻找最小覆盖圆

经归一化后以圆Zernike为基底进行波面拟合。利用Matlab仿真分析算法的性能

对实测数据经过处理后与ZYGO测试数据进行对比分析得到面型PV值的绝对误差为0.0047λ

RMS值的绝对误差为0.0002λ。实验表明算法可对采集的大量离散波面数据进行高效准确的Zernike波面拟合

为进一步光学元件面型像差的分析提供可靠依据。

浏览量

191

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

杠杆式GMM-FBG电流传感器的仿真设计

五棱镜扫描法检测大口径平行光管光束平行性

光学装调中的一种基于猫眼效应的焦距测试方法

基于微粒示踪的燃烧尾喷流速场测量方法研究

用于移相干涉的高精度可伸缩PZT驱动电源技术