基于单步驱动的激光共焦显微镜快速定焦方法

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光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 基于单步驱动的激光共焦显微镜快速定焦方法
- Fast focusing method based on single-step driving laser confocal microscope
- 光学技术 2019年45卷第5期页码：535-540
- 作者机构：
  
  1:北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然基金杰出青年基金(51825501);国家重点研发计划课题(2017YFA0701203)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.05.005
  中图分类号：
- 纸质出版：2019
- 稿件说明：
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於维华, 王允, 邱丽荣, 等. 基于单步驱动的激光共焦显微镜快速定焦方法[J]. 光学技术, 2019,45(5):535-540.

Fast focusing method based on single-step driving laser confocal microscope[J]. 2019, 45(5): 535-540.
於维华, 王允, 邱丽荣, 等. 基于单步驱动的激光共焦显微镜快速定焦方法[J]. 光学技术, 2019,45(5):535-540. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.05.005.

Fast focusing method based on single-step driving laser confocal microscope[J]. 2019, 45(5): 535-540. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.05.005.

针对现有共焦显微镜中定焦速度慢和定焦精度差的问题

提出了基于单步驱动的激光共焦显微镜快速定焦方法。充分利用轴向扫描器件的响应时间通过单步驱动获取数据

大幅提高采集速度

提高系统信噪比;通过拟合区间优化和分开拟合的数据处理方法来快速、准确获取定焦目标位置

进而实现激光共焦显微镜轴向定焦效率的提升。理论分析与实验结果表明:与现有定焦方法相比

方法在粗定焦阶段使定焦速度提升5.64倍

在准确定焦阶段使定焦速度提升3.08倍

其有效提升了现有共焦显微镜的轴向定焦速度和精度。

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