变倾角移相法测量反射棱镜的光学平行差

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变倾角移相法测量反射棱镜的光学平行差

光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 变倾角移相法测量反射棱镜的光学平行差
- Measurement of optical parallelism error of reflective prism based on variational inclination angle
- 光学技术 2019年45卷第5期页码：541-546
- 作者机构：
  
  1:南京理工大学电子工程与光电技术学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金项目(U1731115)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.05.006
  中图分类号：
- 纸质出版：2019
- 稿件说明：
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王冲, 陈磊, 吴志飞, 等. 变倾角移相法测量反射棱镜的光学平行差[J]. 光学技术, 2019,45(5):541-546.

Measurement of optical parallelism error of reflective prism based on variational inclination angle[J]. 2019, 45(5): 541-546.
王冲, 陈磊, 吴志飞, 等. 变倾角移相法测量反射棱镜的光学平行差[J]. 光学技术, 2019,45(5):541-546. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.05.006.

Measurement of optical parallelism error of reflective prism based on variational inclination angle[J]. 2019, 45(5): 541-546. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.05.006.

为解决棱镜等效展开为玻璃平板后因腔长固定导致的移相困难问题

提出一种变倾角移相测量反射棱镜光学平行差的方法。通过改变光束在反射棱镜入射端面上的倾角在干涉图中引入移相量

实现干涉图中的相位提取。采用最小二乘法拟合相位计算反射棱镜的光学平行差。在实验中

测试了一块弦长为56.5mm的等腰直角棱镜

得到直角偏差Δ_(90°)为-2.1435″、锐角偏差δ_(45°)为-4.6216″、直角边对应棱差γ_C为0.3554″

而Zygo GPI干涉仪仅可得到棱镜直角偏差

与本文方法的测量值偏差在0.15″以内。所提方法移相光路设计简便

并可实现小尺寸反射棱镜的测量。

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