薄膜面内微结构对热物性的调控研究

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薄膜面内微结构对热物性的调控研究

光学材料 | 更新时间：2025-09-01

- 薄膜面内微结构对热物性的调控研究
- Tuning the thermophysical property of polyimide thin films by in-plane microstructure design
- 光学技术 2020年46卷第3期页码：301-309
- 作者机构：
  
  1:北京理工大学光电学院目标仿真实验室"精密光电测量仪器与技术"北京市重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(61875011)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2020.03.007
  中图分类号：
- 纸质出版：2020
- 稿件说明：
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赵乾, 李卓, 李德芳, 等. 薄膜面内微结构对热物性的调控研究[J]. 光学技术, 2020,46(3):301-309.

Tuning the thermophysical property of polyimide thin films by in-plane microstructure design[J]. 2020, 46(3): 301-309.
赵乾, 李卓, 李德芳, 等. 薄膜面内微结构对热物性的调控研究[J]. 光学技术, 2020,46(3):301-309. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2020.03.007.

Tuning the thermophysical property of polyimide thin films by in-plane microstructure design[J]. 2020, 46(3): 301-309. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2020.03.007.

提出了一种通过制作面内微结构实现聚酰亚胺薄膜面内热导率及表面红外发射率调控的方法。通过建立简化的二维热传导模型

实现了对具有周期性微结构薄膜面内等效热导率的计算。以此为基础

研究了微结构接触面积比及填充因子对等效热导率及等效红外发射率的影响。理论计算表明

当微结构的接触面积比为0.18、填充因子为0.28时

薄膜面内等效热导率仅为材料本身热导率的18.8%。实验制备了两种具有不同接触面积比和填充因子的聚酰亚胺薄膜。薄膜直径65mm

厚度约为500nm。采用非接触式面内热导率测量法测得无微结构薄膜的面内热导率为0.164W/mK

接触面积比为0.20及0.46的微结构薄膜的面内热导率分别为0.041W/mK和0.091W/mK

而发射率分别为0.161和0.175。

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