微球辅助相移干涉三维形貌测量

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微球辅助相移干涉三维形貌测量

光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 微球辅助相移干涉三维形貌测量
- Microsphere-assisted phase-shifting interference three-dimensional morphology measurement
- 光学技术 2020年46卷第3期页码：316-321
- 作者机构：
  
  1:上海理工大学光电信息与计算机工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(61505107);国家重大科研仪器项目(2012YQ170004);上海市科技创新行动计划(19511104600)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2020.03.009
  中图分类号：
- 纸质出版：2020
- 稿件说明：
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万新军, 宋可, 吕宋, 等. 微球辅助相移干涉三维形貌测量[J]. 光学技术, 2020,46(3):316-321.

Microsphere-assisted phase-shifting interference three-dimensional morphology measurement[J]. 2020, 46(3): 316-321.
万新军, 宋可, 吕宋, 等. 微球辅助相移干涉三维形貌测量[J]. 光学技术, 2020,46(3):316-321. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2020.03.009.

Microsphere-assisted phase-shifting interference three-dimensional morphology measurement[J]. 2020, 46(3): 316-321. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2020.03.009.

相移干涉显微镜在微观物体三维形貌的重构横向分辨率上受衍射极限影响

一般在微米级

限制其应用。将高折射率微球嵌入Mirau型相移干涉显微系统中

利用微球超分辨机理提高了其三维重构横向分辨能力

通过和原子力显微镜的测量对比验证了方法的可行性。仿真分析了微球尺寸对光子纳米喷流效应和超分辨能力的影响;同时使用两种不同尺寸的微球对275nm线宽的标准光栅样品进行了三维形貌重构;结果表明

在两种微球的辅助下

相移干涉显微系统均能够精确还原样品的三维结构

光栅深度测量结果与原子力显微镜结果相当。在微球辅助下

系统的横向分辨能力达到了275nm

相较于不使用微球的情况下提高了2.1倍

微球的最高放大率达到了3.4倍。系统在微纳米测量等领域具有较高的应用价值。

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