大口径碳化硅反射镜高效磨削实时补偿技术

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大口径碳化硅反射镜高效磨削实时补偿技术

光学加工 | 更新时间：2025-09-01

- 大口径碳化硅反射镜高效磨削实时补偿技术
- Real-time compensation of high efficiency grinding for the large aperture mirror
- 光学技术 2020年46卷第4期页码：502-506
- 作者机构：
  
  1. 1:北京空间机电研究所
  2. 2:国防科技工业光学超精密加工技术创新中心(先进制造类)
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2020.04.021
  中图分类号：
- 纸质出版：2020
- 稿件说明：
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于建海, 于秋跃, 房安利, 等. 大口径碳化硅反射镜高效磨削实时补偿技术[J]. 光学技术, 2020,46(4):502-506.

Real-time compensation of high efficiency grinding for the large aperture mirror[J]. 2020, 46(4): 502-506.
于建海, 于秋跃, 房安利, 等. 大口径碳化硅反射镜高效磨削实时补偿技术[J]. 光学技术, 2020,46(4):502-506. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2020.04.021.

Real-time compensation of high efficiency grinding for the large aperture mirror[J]. 2020, 46(4): 502-506. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2020.04.021.

碳化硅陶瓷作为光学材料已在空间相机反射镜中得到了广泛应用

而在碳化硅反射镜磨削加工过程中

砂轮会产生径向磨损

导致砂轮的形状精度发生较大变化

这将直接影响碳化硅反射镜的加工精度和加工周期。为保证磨削质量

需要对砂轮磨削产生的误差进行补偿。通过工艺试验

获得不同加工参数和加工时间下的误差补偿值

再利用五轴联动数控机床并结合UG(NX)软件快速建立母线误差曲线的补偿模型

从而实现整个磨削过程中的磨削误差实时补偿。针对Φ1.6m口径碳化硅同轴非球面反射镜

经过磨削补偿加工后的反射镜面型误差PV为27.4μm

RMS为5.5μm

实现了轻质碳化硅光学元件的安全、高效、高精度磨削加工。

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