减反射膜仿真优化与制备

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减反射膜仿真优化与制备

光学加工 | 更新时间：2025-09-01

- 减反射膜仿真优化与制备
- Simulation optimization and preparation of anti-reflective coatings
- 光学技术 2021年47卷第1期页码：28-30
- 作者机构：
  
  1:华中科技大学武汉光电国家研究中心
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.01.006
  中图分类号：
- 纸质出版：2021
- 稿件说明：
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李攀, 朱良秋, 卢宏. 减反射膜仿真优化与制备[J]. 光学技术, 2021,47(1):28-30.

Simulation optimization and preparation of anti-reflective coatings[J]. 2021, 47(1): 28-30.
李攀, 朱良秋, 卢宏. 减反射膜仿真优化与制备[J]. 光学技术, 2021,47(1):28-30. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.01.006.

Simulation optimization and preparation of anti-reflective coatings[J]. 2021, 47(1): 28-30. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.01.006.

利用有限时域差分方法设计并优化了由二氧化硅和氮化硅组成的双层和三层减反射膜

在1550nm波长附近实现减反射效果。采用等离子增强化学气相沉积高质量的二氧化硅和氮化硅薄膜

制备了氧化硅、氮化硅双层减反射膜

同时制备了氮化硅、氧化硅、氮化硅三层减反射膜。测量了两种减反射膜的减反射效果

双层减反射膜的反射率可以达到0.18%以下

三层减反射膜比双层减反射膜具有更大的带宽。

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