一种用于OLED屏疵病检测的高解析度线扫描镜头设计

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光学器件及系统设计 | 更新时间：2025-09-01

- 一种用于OLED屏疵病检测的高解析度线扫描镜头设计
- Lens design of high resolution line scan for oled screen defect detection
- 光学技术 2021年47卷第2期页码：163-166
- 作者机构：
  
  1. 1:上海航天控制技术研究所光学导航与探测事业部
  2. 2:上海航天控制技术研究所飞行控制技术部
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.02.007
  中图分类号：
- 纸质出版：2021
- 稿件说明：
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曹卫卫, 孙逊, 安双新, 等. 一种用于OLED屏疵病检测的高解析度线扫描镜头设计[J]. 光学技术, 2021,47(2):163-166.

Lens design of high resolution line scan for oled screen defect detection[J]. 2021, 47(2): 163-166.
曹卫卫, 孙逊, 安双新, 等. 一种用于OLED屏疵病检测的高解析度线扫描镜头设计[J]. 光学技术, 2021,47(2):163-166. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.02.007.

Lens design of high resolution line scan for oled screen defect detection[J]. 2021, 47(2): 163-166. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.02.007.

为了满足OLED屏疵病检测的成像需求

设计了一种高解析度线阵扫描镜头。光学系统基于双高斯对称结构

镜头焦距f′=116mm、放大倍率β=-0.5~×、物方数值孔径NA=0.038、物方线视场2y=120mm。利用光学设计软件Zemax仿真可得镜头的调制传递函数MTF在奈奎斯特频率120lp/mm时能达到0.2以上

接近衍射极限;各视场点列图基本都在艾里斑之内

均方根半径较小;利用双高斯的对称特性降低畸变

相对畸变q0.5%。针对景深和曝光量可调的成像需求

即F#的切换需求

以及光学元件的尺寸排布

给出了光阑孔径可变的镜头光机结构设计。最终利用MTF测试仪对镜头的成像质量进行检测

实验结果表明此镜头能够满足OLED屏疵病检测功能的工业成像需求。

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