基于虚拟双差动共焦的快速表面轮廓测量方法

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光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 基于虚拟双差动共焦的快速表面轮廓测量方法
- Fast surface profile measurement method based on virtual double differential confocal
- 光学技术 2021年47卷第4期页码：410-416
- 作者机构：
  
  1. 1:北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室
  2. 2:之江实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家重点研发计划资助(2018YFF01012001);北京理工大学创新人才科技资助专项计划(2019CX01020);国家自然基金(61827826)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.04.005
  中图分类号：
- 纸质出版：2021
- 稿件说明：
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邓哲涛, 贺春景, 黄伟华, 等. 基于虚拟双差动共焦的快速表面轮廓测量方法[J]. 光学技术, 2021,47(4):410-416.

Fast surface profile measurement method based on virtual double differential confocal[J]. 2021, 47(4): 410-416.
邓哲涛, 贺春景, 黄伟华, 等. 基于虚拟双差动共焦的快速表面轮廓测量方法[J]. 光学技术, 2021,47(4):410-416. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.04.005.

Fast surface profile measurement method based on virtual double differential confocal[J]. 2021, 47(4): 410-416. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.04.005.

针对传统共焦显微技术定焦过程中扫描速度和扫描精度无法兼顾的问题

提出了一种基于虚拟双差动共焦的快速表面轮廓测量方法。其将传统共焦响应曲线向前平移和向后平移指定量得到虚拟前焦和虚拟后焦信号;然后将虚拟前、后焦信号与原始共焦信号分别相减

并将相减结果做相加处理得到虚拟双差动曲线。虚拟双差动曲线具有大线性范围、高定焦灵敏度的特点

在大扫描间距情况下获取表面轮廓时

可实现样品表面轮廓的快速、高精度的定焦。仿真分析及实验结果表明

与传统差动共焦显微成像方法相比

虚拟双差动共焦表面轮廓测量方法可在保持高定焦精度的前提下

将几何形貌成像速度提高2倍以上。

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