基于双色分离成像法的晶粒双面同时等光程共焦成像检测

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光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 基于双色分离成像法的晶粒双面同时等光程共焦成像检测
- A new optical apparatus for inspecting adjacent surfaces defects of TEC components based on double color separation and confocal imaging system
- 光学技术 2021年47卷第6期页码：683-688
- 作者机构：
  
  1. 1:泉州师范学院光子技术研究中心
  2. 2:福建省先进微纳光子技术与器件重点实验室
  3. 3:福建省超精密光学工程技术与应用协同创新中心
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  福建省科技重大专项(2019HZ0102)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.06.008
  中图分类号：
- 纸质出版：2021
- 稿件说明：
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段亚凡, 王鑫森, 陈文志, 等. 基于双色分离成像法的晶粒双面同时等光程共焦成像检测[J]. 光学技术, 2021,47(6):683-688.

A new optical apparatus for inspecting adjacent surfaces defects of TEC components based on double color separation and confocal imaging system[J]. 2021, 47(6): 683-688.
段亚凡, 王鑫森, 陈文志, 等. 基于双色分离成像法的晶粒双面同时等光程共焦成像检测[J]. 光学技术, 2021,47(6):683-688. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.06.008.

A new optical apparatus for inspecting adjacent surfaces defects of TEC components based on double color separation and confocal imaging system[J]. 2021, 47(6): 683-688. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.06.008.

目前机器视觉常被用于大批量重复性工业生产过程

以及一些人工视觉难以满足要求的场合

通过机器视觉检测方法可以大大提高生产的效率和自动化程度。对于一些需要多面高精度检测的物体

如半导体晶粒

往往需要每一面配置一套图像采集系统

利用多套机构实现多面检测

增加了安装复杂性

降低了系统可靠性。提出了一种基于双色分离成像法的半导体晶粒双面同时等光程共焦成像检测的装置及方法

从而减少需配置的图像采集系统的数量

降低系统复杂性。该装置可实现晶粒相邻面同时完全等光程共焦成像

可用于需多面检测的机器视觉自动检测领域

从而可以在实际制造过程中降低成本。

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