双光栅结构光学自成像效应位移检测应用研究

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光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 双光栅结构光学自成像效应位移检测应用研究
- Research on applications of Self-imaging effect in double optical grating structure for displacement measuring
- 光学技术 2021年47卷第6期页码：689-694
- 作者机构：
  
  1. 1:中北大学南通智能光机电研究院
  2. 2:中北大学仪器与电子学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  山西省高等学校科技创新项目(2019L0587);国家自然科学基金青年科学基金项目(62005252);山西省“双一流”建设成果转化培育项目(11027115)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.06.009
  中图分类号：
- 纸质出版：2021
- 稿件说明：
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辛晨光, 亓杰, 张瑞, 等. 双光栅结构光学自成像效应位移检测应用研究[J]. 光学技术, 2021,47(6):689-694.

Research on applications of Self-imaging effect in double optical grating structure for displacement measuring[J]. 2021, 47(6): 689-694.
辛晨光, 亓杰, 张瑞, 等. 双光栅结构光学自成像效应位移检测应用研究[J]. 光学技术, 2021,47(6):689-694. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.06.009.

Research on applications of Self-imaging effect in double optical grating structure for displacement measuring[J]. 2021, 47(6): 689-694. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.06.009.

随着精密机械制造、高性能半导体器件加工等领域对位移检测要求的不断提高

对于高性能微型位移传感器件的需求日益迫切。基于微纳光栅光学自成像效应

提出了一种双光栅结构的光学位移检测方法。研究了～6.5μm周期微纳光栅的光强空间分布

分析了双光栅结构光强透过特性

并在实验中实现了1mm位移范围内的正弦信号输出。通过对输出信号进行100倍电学细分

最终实现灵敏度为64.5nm的位移检测。所提方法具有光路简单、结构紧凑、稳定性高的特点

可用于集成化高性能微位移传感器件与系统等应用。

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