基于液面旋转平移法的绝对检验技术研究

马海颖; 陈磊; 王云涛; 胡晨辉; 黄晨; 马致遥; 郑东晖

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.01.019

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基于液面旋转平移法的绝对检验技术研究

光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 基于液面旋转平移法的绝对检验技术研究
- Research on absolute inspection technology based on liquid surface rotation and translation method
- 光学技术 2022年48卷第1期页码：21-26
- 作者机构：
  
  1:南京理工大学电子工程与光电技术学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金项目(U1731115,62005122);江苏省自然科学基金青年基金(BK20200458)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.01.019
  中图分类号： TH744.3
- 纸质出版：2022
- 稿件说明：
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马海颖, 陈磊, 王云涛, 等. 基于液面旋转平移法的绝对检验技术研究[J]. 光学技术, 2022,48(1):21-26.

Research on absolute inspection technology based on liquid surface rotation and translation method[J]. 2022, 48(1): 21-26.
马海颖, 陈磊, 王云涛, 等. 基于液面旋转平移法的绝对检验技术研究[J]. 光学技术, 2022,48(1):21-26. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.01.019.

Research on absolute inspection technology based on liquid surface rotation and translation method[J]. 2022, 48(1): 21-26. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.01.019.

摘要

绝对检验作为一种光学元件高精度检测方法

其中的两平晶绝对检验无法精确测量平移过程中的倾斜误差

导致恢复的面形中二次项出现偏差。液面在位置变化前后能够保持水平

在旋转平移过程中不会产生倾斜误差。推导了平移过程中倾斜误差和恢复面形中离焦项的关系

并通过仿真分析加以验证

当不存在倾斜误差时

残差面PV值小于1nm。在300mm口径立式斐索干涉仪上进行液面旋转平移干涉实验

将所得到结果与传统三面互检法进行对比

面形基本一致

PV值偏差小于1.3nm

RMS值偏差小于0.65nm

证明了液面旋转平移法在干涉测量过程中不会引入倾斜误差。

Abstract

绝对检验作为一种光学元件高精度检测方法

其中的两平晶绝对检验无法精确测量平移过程中的倾斜误差

导致恢复的面形中二次项出现偏差。液面在位置变化前后能够保持水平

在旋转平移过程中不会产生倾斜误差。推导了平移过程中倾斜误差和恢复面形中离焦项的关系

并通过仿真分析加以验证

当不存在倾斜误差时

残差面PV值小于1nm。在300mm口径立式斐索干涉仪上进行液面旋转平移干涉实验

将所得到结果与传统三面互检法进行对比

面形基本一致

PV值偏差小于1.3nm

RMS值偏差小于0.65nm

证明了液面旋转平移法在干涉测量过程中不会引入倾斜误差。

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