一种采用TP型分光核心的动态干涉仪

马义鹏; 王青; 王子瀚; 朱宏钰

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.03.012

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一种采用TP型分光核心的动态干涉仪

光学器件及系统设计 | 更新时间：2025-09-01

- 一种采用TP型分光核心的动态干涉仪
- A dynamic interferometer with TP type spectroscopic core
- 光学技术 2022年48卷第3期页码：286-290
- 作者机构：
  
  1:南京理工大学电子工程与光电技术学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(61875087)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.03.012
  中图分类号： TH744.3
- 纸质出版：2022
- 稿件说明：
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马义鹏, 王青, 王子瀚, 等. 一种采用TP型分光核心的动态干涉仪[J]. 光学技术, 2022,48(3):286-290.

A dynamic interferometer with TP type spectroscopic core[J]. 2022, 48(3): 286-290.
马义鹏, 王青, 王子瀚, 等. 一种采用TP型分光核心的动态干涉仪[J]. 光学技术, 2022,48(3):286-290. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.03.012.

A dynamic interferometer with TP type spectroscopic core[J]. 2022, 48(3): 286-290. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.03.012.

摘要

为了消除Michelon测量光路中PBS胶合层所引入的寄生条纹误差，提出了一种以TP(Twin-PBS)结构为分光核心的动态干涉光路。结构以Mach-Zehnder光路为起点，融合同步移相的偏振光学需求、开放的外部测量臂需求、紧凑化与调校便利性需求以及测试光束和参考光束只在PBS内的镀膜面进行分光的需求。采用琼斯矩阵构建了偏振光传输模型，通过Zemax等软件的仿真模拟，对新式光路进行了紧凑化设计和调校工艺流程设计，压缩了调校步骤。最后利用配置光源组件、成像组件、模块化光路与偏振CCD构成的TP型动态干涉仪对三反系统进行了镀膜前预测量，实现了(4%)~3极弱反射光下的精密测量。

Abstract

为了消除Michelon测量光路中PBS胶合层所引入的寄生条纹误差，提出了一种以TP（Twin-PBS）结构为分光核心的动态干涉光路。结构以Mach-Zehnder光路为起点，融合同步移相的偏振光学需求、开放的外部测量臂需求、紧凑化与调校便利性需求以及测试光束和参考光束只在PBS内的镀膜面进行分光的需求。采用琼斯矩阵构建了偏振光传输模型，通过Zemax等软件的仿真模拟，对新式光路进行了紧凑化设计和调校工艺流程设计，压缩了调校步骤。最后利用配置光源组件、成像组件、模块化光路与偏振CCD构成的TP型动态干涉仪对三反系统进行了镀膜前预测量，实现了（4%）~3极弱反射光下的精密测量。

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