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1:北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室
纸质出版:2022
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李新月, 王文彬, 熊哲凤, 等. 用于自由曲面表面测量的激光差动共焦传感器[J]. 光学技术, 2022,48(4):403-409.
Laser differential confocal sensor for freeform surface measurement[J]. 2022, 48(4): 403-409.
李新月, 王文彬, 熊哲凤, 等. 用于自由曲面表面测量的激光差动共焦传感器[J]. 光学技术, 2022,48(4):403-409. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.04.007.
Laser differential confocal sensor for freeform surface measurement[J]. 2022, 48(4): 403-409. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.04.007.
针对自由曲面测量问题,构建了一套高精度大量程激光差动共焦传感器。该传感器基于激光差动共焦原理,利用归一化单点定焦模型减小被测表面倾斜角度、反射率的影响,结合非等距分数阶累加预测算法预判焦点位置,实现快速跟踪定焦。将气浮导轨与PZT结合拓展轴向扫描范围。实验表明,该传感器轴向分辨力优于3nm
可测量表面倾斜角度达22°
轴向扫描范围达50mm
差动曲线的过零点标准偏差为5.7nm
有良好的重复性。该传感器为自由曲面的面型轮廓测量提供了一种新的方法。
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