基于奇偶函数分解算法的绝对检验对比研究

李若琨; 陈磊; 马致遥; 张喆; 胡晨辉; 郑东晖; 胡志豪

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.06.019

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基于奇偶函数分解算法的绝对检验对比研究

光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 基于奇偶函数分解算法的绝对检验对比研究
- Comparative study of absolute test method based on odd-even function decomposition algorithm
- 光学技术 2022年48卷第6期页码：684-689
- 作者机构：
  
  1:南京理工大学电子工程与光电技术学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金项目(62005122;U1731115);江苏省自然科学基金青年基金(BK20200458)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.06.019
  中图分类号： TH744.3
- 纸质出版：2022
- 稿件说明：
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李若琨, 陈磊, 马致遥, 等. 基于奇偶函数分解算法的绝对检验对比研究[J]. 光学技术, 2022,48(6):684-689.

Comparative study of absolute test method based on odd-even function decomposition algorithm[J]. 2022, 48(6): 684-689.
李若琨, 陈磊, 马致遥, 等. 基于奇偶函数分解算法的绝对检验对比研究[J]. 光学技术, 2022,48(6):684-689. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.06.019.

Comparative study of absolute test method based on odd-even function decomposition algorithm[J]. 2022, 48(6): 684-689. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.06.019.

摘要

奇偶函数法与N次旋转法是平面绝对检验方法中常用的两种方法，这两方法在恢复面形的过程中都使用了奇偶函数分解算法，但是在求解奇奇项方面使用的方法不同，对比了这两种绝对检验方法。在奇偶函数法与N次旋转法的算法仿真过程中加入待测平晶重力形变的有限元分析，并对100mm口径平晶进行奇偶函数法与N次旋转法实验，将面形恢复结果与液面法测量结果对比，结果显示奇偶函数法恢复面形的PV值差值为4.864nm

N次旋转法恢复面形的PV值差值为1.853nm。结果表明存在重力影响时，N次旋转法恢复面形精度优于奇偶函数法。仿真分析旋转角度误差对于奇偶函数法与N次旋转法的影响，结果显示N次旋转法抗旋转角度误差能力强于奇偶函数法。

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Comparative study of absolute test method based on odd-even function decomposition algorithm

DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.06.019

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