Al基反射膜的激光损伤阈值研究

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Al基反射膜的激光损伤阈值研究

光学材料 | 更新时间：2025-09-01

- Al基反射膜的激光损伤阈值研究
- Study on Laser induction damage threshold of Al-based reflective films
- 光学技术 2023年49卷第2期页码：168-174
- 作者机构：
  
  1. 1:江南大学理学院
  2. 2:江苏省轻工光电工程技术研究中心
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金青年基金(61605067);江苏省轻工光电工程技术研究中心(BM2014402)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.02.006
  中图分类号： O484.41;TN248
- 纸质出版：2023
- 稿件说明：
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刘涛, 朱华新, 曹建军, 等. Al基反射膜的激光损伤阈值研究[J]. 光学技术, 2023,49(2):168-174.

Study on Laser induction damage threshold of Al-based reflective films[J]. 2023, 49(2): 168-174.
刘涛, 朱华新, 曹建军, 等. Al基反射膜的激光损伤阈值研究[J]. 光学技术, 2023,49(2):168-174. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.02.006.

Study on Laser induction damage threshold of Al-based reflective films[J]. 2023, 49(2): 168-174. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.02.006.

为研究金属Al保护、单周期及双周期增强反射膜在5ns脉宽的532nm激光器下的激光损伤阈值(LIDT)

采用Comsol软件进行仿真及分析，仿真过程引入SiO_2和Ta_2O_5的拉伸强度(膜层断裂应力)作为阈值条件，得到三种膜系的损伤阈值分别为0.318J/cm~2、1.325J/cm~2和3.382J/cm~2

通过搭建实验平台进行激光阈值测试，采用1-on-1模式，选取50%概率的激光损伤点作为损伤阈值，测得激光功率分别为0.288J/cm~2、1.232J/cm~2及3.152J/cm~2

与仿真结果较为接近，说明采用拉伸强度分析的该类模型更符合实际损伤，为此类膜系在实际应用中阈值的预测提供了理论基础。

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