压缩超快摄影捕获光脉冲在光刻胶中的运动

许彬; 丁毅; 刘馨悦; 杜梓浩; 詹晓江; 马钊; 李英荣

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.03.004

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压缩超快摄影捕获光脉冲在光刻胶中的运动

光学成像与显示 | 更新时间：2025-09-01

- 压缩超快摄影捕获光脉冲在光刻胶中的运动
- Capturing the motion of laser pulse in photoresist with compressed ultrafast photography
- 光学技术 2023年49卷第3期页码：264-269
- 作者机构：
  
  1:五邑大学智能制造学部
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(62075168);广东省普通高校创新团队项目(2021KCXTD051)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.03.004
  中图分类号： TN305.7;TP391.41
- 纸质出版：2023
- 稿件说明：
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许彬, 丁毅, 刘馨悦, 等. 压缩超快摄影捕获光脉冲在光刻胶中的运动[J]. 光学技术, 2023,49(3):264-269.

Capturing the motion of laser pulse in photoresist with compressed ultrafast photography[J]. 2023, 49(3): 264-269.
许彬, 丁毅, 刘馨悦, 等. 压缩超快摄影捕获光脉冲在光刻胶中的运动[J]. 光学技术, 2023,49(3):264-269. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.03.004.

Capturing the motion of laser pulse in photoresist with compressed ultrafast photography[J]. 2023, 49(3): 264-269. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.03.004.

摘要

在超快时间尺度上以二维空间分辨率揭示激光脉冲在光刻胶之间的运动过程，将有助于了解激光加工过程和优化加工工艺。然而现有记录激光脉冲在光刻胶中运动过程的成像技术都存在需要多次重复拍摄或时间分辨率受限等问题。为了克服这些问题，通过使用压缩超快摄影来观测光刻胶中激光脉冲的运动。实验结果表明，搭建的实验系统能以1.54×10~(11)fps的帧率，单次成像数百帧的图像序列深度，实时观测到这一不可重复的超快事件。

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Capturing the motion of laser pulse in photoresist with compressed ultrafast photography

DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.03.004

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