单色仪设计与波长精度分析补偿方法研究

张靖; 张博; 王楷炀; 冯树龙; 李文昊; 姚雪峰

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.04.005

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单色仪设计与波长精度分析补偿方法研究

光学传感与测量 | 更新时间：2025-09-01

- 单色仪设计与波长精度分析补偿方法研究
- Monochromator design and wavelength precision analysis compensation method research
- 光学技术 2023年49卷第4期页码：446-451
- 作者机构：
  
  1. 1:长春光学精密机械与物理研究所
  2. 2:中国科学院大学
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  中国科学院战略性先导科技专项(C类)资助(XDC04000000);中国科学院战略性先导科技专项(C类)资助(XDC04030100);吉林省科技发展计划(20210203053SF)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.04.005
  中图分类号： TH744.1
- 纸质出版：2023
- 稿件说明：
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张靖, 张博, 王楷炀, 等. 单色仪设计与波长精度分析补偿方法研究[J]. 光学技术, 2023,49(4):446-451.

Monochromator design and wavelength precision analysis compensation method research[J]. 2023, 49(4): 446-451.
张靖, 张博, 王楷炀, 等. 单色仪设计与波长精度分析补偿方法研究[J]. 光学技术, 2023,49(4):446-451. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.04.005.

Monochromator design and wavelength precision analysis compensation method research[J]. 2023, 49(4): 446-451. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.04.005.

摘要

针对紫外-可见光谱定标精度需求，设计了一款波段范围在185～900nm的三光栅单色仪；为提高单色仪的波长扫描精度，降低高精度波长扫描机构在工程上的成本。建立了光栅转角误差对扫描机构波长精度的影响模型，设计了基于高精度编码器的转角误差补偿装置，通过软件不同参数设置和算法设计的补偿算法，实现了波长扫描机构的精度校正；实验结果表明，通过参数算法补偿后，扫描机构的波长准确性精度和波长重复性精度在工作波段范围内有所提高，不同波长下其精度的提高程度不同，其中，波长准确性精度提高比范围为20.8～35.2%

波长重复性精度提高比范围为61.5～95.2%。实验结果验证了误差补偿装置及补偿算法的有效性，提高了波长扫描机构的精度，降低了高精度波长扫描机构在工程应用上的成本。

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Monochromator design and wavelength precision analysis compensation method research

DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.04.005

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