熔融石英玻璃飞秒激光微纳加工研究

苏天颜; 刘超; 全宏升; 徐可米

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.06.018

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熔融石英玻璃飞秒激光微纳加工研究

光学加工 | 更新时间：2025-09-01

- 熔融石英玻璃飞秒激光微纳加工研究
- Research of femtosecond laser micronano processing of fused quartz glass
- 光学技术 2023年49卷第6期页码：664-672
- 作者机构：
  
  1:北京理工大学光电学院“复杂环境智能感测技术”工信部重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金仪器研制项目(61827826);山东省科技重大专项(2021CXGC010201)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.06.018
  中图分类号： TN249
- 纸质出版：2023
- 稿件说明：
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苏天颜, 刘超, 全宏升, 等. 熔融石英玻璃飞秒激光微纳加工研究[J]. 光学技术, 2023,49(6):664-672.

Research of femtosecond laser micronano processing of fused quartz glass[J]. 2023, 49(6): 664-672.
苏天颜, 刘超, 全宏升, 等. 熔融石英玻璃飞秒激光微纳加工研究[J]. 光学技术, 2023,49(6):664-672. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.06.018.

Research of femtosecond laser micronano processing of fused quartz glass[J]. 2023, 49(6): 664-672. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.06.018.

摘要

熔融石英玻璃因具有耐热性高、热膨胀系数低、绝缘性能好等优点，广泛应用于航空航天、微光学元件、军事等领域，并对其加工精度和表面质量提出了更高的要求。由于飞秒激光具有“冷加工”的特点，因此在熔融石英玻璃微纳加工方面展现出独特优势。采用波长为1030nm、重复频率为100kHz、脉宽为290fs的飞秒激光对熔融石英玻璃进行加工，确定了不同物镜下熔融石英玻璃的损伤阈值，研究了不同物镜下的激光功率、扫描速度、离焦量、扫描次数对加工线槽的影响，使用逐层叠加加工的方法在低功率下得到了高深宽比(4∶1)的线槽，并且提高加工线槽的宽度与深度的可控性，可以在较薄熔融石英玻璃(200μm)上进行微纳加工。

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熔融石英玻璃飞秒激光微纳加工研究

Research of femtosecond laser micronano processing of fused quartz glass

DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.06.018

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