超高精度棱镜的加工和检测技术研究

邓祥兴; 李永雷; 王兴华; 罗志刚; 李健; 赵继凡; 段述慧; 吴偲偲

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2024.01.008

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超高精度棱镜的加工和检测技术研究

光学加工 | 更新时间：2025-09-01

- 超高精度棱镜的加工和检测技术研究
- Research on the processing and testing technology of ultra high precision prism
- 光学技术 2024年50卷第1期页码：35-39
- 作者机构：
  
  1:昆明云锗高新技术有限公司
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2024.01.008
  中图分类号： TH74
- 纸质出版：2024
- 稿件说明：
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邓祥兴, 李永雷, 王兴华, 等. 超高精度棱镜的加工和检测技术研究[J]. 光学技术, 2024,50(1):35-39.

Research on the processing and testing technology of ultra high precision prism[J]. 2024, 50(1): 35-39.
邓祥兴, 李永雷, 王兴华, 等. 超高精度棱镜的加工和检测技术研究[J]. 光学技术, 2024,50(1):35-39. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2024.01.008.

Research on the processing and testing technology of ultra high precision prism[J]. 2024, 50(1): 35-39. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2024.01.008.

摘要

棱镜是空间和军用白光、红外光学系统中的关键元件之一，能够在光学系统中实现更高精度的成像质量，故提出了超高精度棱镜的加工和检测技术。首先，分析了适用于棱镜加工的工装材料及加工方法，指出了超高精度棱镜加工的难点和关键点.然后，介绍了超高精度棱镜加工的工装制作、棱镜粘接、加工、检测方法，以及预防损害棱镜工装的防护措施。最后，通过加工总高为35～95mm的施密特硒化锌棱镜，用Zygo干涉仪进行面形检测，其面形精度达到RMS 0.007μm(λ=632.8nm);用精密测角仪Pris mm aster C2000进行角度检测，其第一光学平行差小于1″;用XQ20-GI平面激光干涉仪检测第二光学平行差为1.048″;用原子力显微镜检测表面粗糙度为2.9nm。

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