PSD几何误差测量系统及不确定度分析

罗鹏煌; 程银宝; 罗哉; 沈斌; 江文松; 李亚茹; 王瑛辉

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2024.05.017

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PSD几何误差测量系统及不确定度分析

光学传感与检测 | 更新时间：2025-09-01

- PSD几何误差测量系统及不确定度分析
- Uncertainty analysis of geometrical errors measurement system based on PSD
- 光学技术 2024年50卷第5期页码：634-640
- 作者机构：
  
  1. 1:中国计量大学计量测试与仪器学院
  2. 2:杭州光尺科技有限公司
  3. 3:浙江省计量科学研究院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  浙江自然科学基金项目(LY22E050005);国家市场监管总局科技计划项目(2021MK188)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2024.05.017
  中图分类号： TH74
- 纸质出版：2024
- 稿件说明：
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罗鹏煌, 程银宝, 罗哉, 等. PSD几何误差测量系统及不确定度分析[J]. 光学技术, 2024,50(5):634-640.

Uncertainty analysis of geometrical errors measurement system based on PSD[J]. 2024, 50(5): 634-640.
罗鹏煌, 程银宝, 罗哉, 等. PSD几何误差测量系统及不确定度分析[J]. 光学技术, 2024,50(5):634-640. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2024.05.017.

Uncertainty analysis of geometrical errors measurement system based on PSD[J]. 2024, 50(5): 634-640. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2024.05.017.

摘要

针对形位误差高精度测量的要求，利用位置敏感探测器(PSD)具有高精度、高灵敏度、响应迅速、易于与其他系统集成等优点，搭建了以激光光束为基准线，二维位置敏感探测器为光电转化器件的形位误差测量系统，通过移动终端软件可实时显示采样点相对于基准线的位置变化并以最小二乘法快速输出形位误差评定结果，相较于传统测量方法更快速更稳定。系统对直线导轨的直线度进行测量并从单点测量和综合测量系统两个角度进行不确定度评定，实验表明：基于单点测量的标准不确定度为5.9μm

基于测量系统的标准不确定度为7.4μm

验证系统具有可靠的测量结果。

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PSD几何误差测量系统及不确定度分析

Uncertainty analysis of geometrical errors measurement system based on PSD

DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2024.05.017

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