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1:南京理工大学电子工程与光电技术学院
纸质出版:2024
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胡志豪, 钱月, 陈磊, 等. 金属筛网在镓基液态金属校准激光干涉仪中引入的误差分析[J]. 光学技术, 2024,50(6):730-736.
Error analysis of the metallic sieve introduced in the laser interferometer calibration using liquid metal[J]. 2024, 50(6): 730-736.
胡志豪, 钱月, 陈磊, 等. 金属筛网在镓基液态金属校准激光干涉仪中引入的误差分析[J]. 光学技术, 2024,50(6):730-736. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2024.06.006.
Error analysis of the metallic sieve introduced in the laser interferometer calibration using liquid metal[J]. 2024, 50(6): 730-736. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2024.06.006.
以液态金属平面作为基准标定立式激光干涉仪时,由于液态金属的高反射率会导致光强无法匹配,难以得到对比度良好的干涉图。为解决这一问题,采取利用金属筛网的衰减光强方法。该方法利用金属筛网的衍射效应来衰减光强,使得光强匹配,并进一步分析金属筛网目数的选择以及如何抑制引入的误差。推导了零级衍射效率与筛网目数的关系,并在Zygo GPI4英寸干涉仪中进行实验验证,结果表明:筛网目数选择区间在120~200目,实验中选用150目筛网,得到质量良好干涉图。分析了金属筛网分布不均引入的波前误差,仿真过程中给出随机的筛丝间隔误差,得到其产生的波前误差为中高频网格状分布,采用低通滤波方法进行了抑制。采用波动性大的液态金属标定300mm口径的立式斐索干涉仪,所得波前分布与静态液面校正结果一致,PV值偏差为0.007λ
RMS值偏差为0.0036λ。另外采用粘度很小的水和0.65Cst硅油作为液面进行实验比对,三者波面分布基本一致。实验表明采取金属筛网可以有效解决液态金属高反射率的问题,筛网引入的误差可以利用低通滤波进行抑制。
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