离轴反射系统的像差失调量计算方法

徐航; 王青; 朱宏钰

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2024.06.011

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离轴反射系统的像差失调量计算方法

光学器件与系统设计 | 更新时间：2025-09-01

- 离轴反射系统的像差失调量计算方法
- Method to solve assembly misalignment of Off-axis reverse system
- 光学技术 2024年50卷第6期页码：655-660
- 作者机构：
  
  1:南京理工大学电子工程与光电技术学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2024.06.011
  中图分类号： TH74
- 纸质出版：2024
- 稿件说明：
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徐航, 王青, 朱宏钰. 离轴反射系统的像差失调量计算方法[J]. 光学技术, 2024,50(6):655-660.

Method to solve assembly misalignment of Off-axis reverse system[J]. 2024, 50(6): 655-660.
徐航, 王青, 朱宏钰. 离轴反射系统的像差失调量计算方法[J]. 光学技术, 2024,50(6):655-660. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2024.06.011.

Method to solve assembly misalignment of Off-axis reverse system[J]. 2024, 50(6): 655-660. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2024.06.011.

摘要

基于矢量像差理论，推导了离轴反射系统的失调像差表达式，提出一种高效的离轴反射系统装调方法。通过分析发现失调离轴系统不会引入新形式的像差，只是由于光瞳缩放因子的原因，相较于同轴母系统，其几项初级像差会进行缩放，且高级孔径像差会部分转化为低阶孔径像差；利用Zemax软件对离轴双反系统进行仿真，验证了失调像差表达式，模拟装调的失调量达到了10~(-4)mm数量级。最后，利用该计算方法指导了实际Φ150mm口径离轴双反扩束系统的装调，各初级像差达到10~(-5)(λ=632.8nm)数量级，系统的RMS值达到0.04λ

验证了该像差失调量计算方法的准确性。

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离轴反射系统的像差失调量计算方法

Method to solve assembly misalignment of Off-axis reverse system

DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2024.06.011

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