基于3390nm中波红外干涉仪红外材料折射率均匀性测量

黄一飞; 袁彪; 陈冕成; 陈磊

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2025.01.011

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基于3390nm中波红外干涉仪红外材料折射率均匀性测量

光学传感与测量 | 更新时间：2025-09-01

- 基于3390nm中波红外干涉仪红外材料折射率均匀性测量
- Measurement of refractive index uniformity of infrared materials based on 3390nm mid-wave infrared interferometer
- 光学技术 2025年51卷第1期页码：82-86
- 作者机构：
  
  1. 1:南京理工大学电子工程与光电技术学院
  2. 2:南京英特飞光电仪器有限公司
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2025.01.011
  中图分类号： O435.1;TN219;TB302.5
- 纸质出版：2025
- 稿件说明：
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黄一飞, 袁彪, 陈冕成, 等. 基于3390nm中波红外干涉仪红外材料折射率均匀性测量[J]. 光学技术, 2025,51(1):82-86.

Measurement of refractive index uniformity of infrared materials based on 3390nm mid-wave infrared interferometer[J]. 2025, 51(1): 82-86.
黄一飞, 袁彪, 陈冕成, 等. 基于3390nm中波红外干涉仪红外材料折射率均匀性测量[J]. 光学技术, 2025,51(1):82-86. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2025.01.011.

Measurement of refractive index uniformity of infrared materials based on 3390nm mid-wave infrared interferometer[J]. 2025, 51(1): 82-86. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2025.01.011.

摘要

在中远红外波段，由于红外材料无法透射可见光，材料的均匀性测量相对困难，然而近年来红外材料的加工精度需求越来越高，因此实现红外材料均匀性的准确测量迫在眉睫。当前的检测手段中，干涉法作为一种非接触高精度的检测手段得到广泛应用。本研究针对红外材料的非均匀性进行了测量，采用波长为3390nm的中红外干涉仪进行实验。通过透射法对同一元件进行测量，并用翻转法验证结果，验证了本干涉仪的精度和准确性。同时，利用本干涉仪与Zygo干涉仪对熔融石英材质的元件进行了对比实验，结果表明干涉仪的测量精度能达到要求。这项研究为红外材料非均匀性的准确测量提供了重要参考，具有一定的理论和实际意义。

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基于3390nm中波红外干涉仪红外材料折射率均匀性测量

Measurement of refractive index uniformity of infrared materials based on 3390nm mid-wave infrared interferometer

DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2025.01.011

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