小间隙相移测量的误差控制

朱宏钰; 王青; 徐航

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2025.01.018

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小间隙相移测量的误差控制

光学传感与测量 | 更新时间：2025-09-01

- 小间隙相移测量的误差控制
- Error control of small gap phase shift measurement
- 光学技术 2025年51卷第1期页码：123-128
- 作者机构：
  
  1:南京理工大学电子工程与光电技术学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2025.01.018
  中图分类号： O436.1
- 纸质出版：2025
- 稿件说明：
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朱宏钰, 王青, 徐航. 小间隙相移测量的误差控制[J]. 光学技术, 2025,51(1):123-128.

Error control of small gap phase shift measurement[J]. 2025, 51(1): 123-128.
朱宏钰, 王青, 徐航. 小间隙相移测量的误差控制[J]. 光学技术, 2025,51(1):123-128. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2025.01.018.

Error control of small gap phase shift measurement[J]. 2025, 51(1): 123-128. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2025.01.018.

摘要

在制造业中，一些元件的平整度误差已经达数十微米量级，超出了传统干涉仪的测量范围。为了解决这个问题，可以采用大角度掠入射干涉测量方法，例如采用棱镜法的变倾角小间隙相移干涉，为解决大角度掠入射下表面反射率高，形成多光束干涉，增加了相位提取难度的问题，提出了通过反射率控制膜系减少多光束干涉和动态膜系消除多光束干涉两种方法。使用导纳矩阵对系统进行分析以及使用Matlab仿真入射角为83°的情况，当直角棱镜弦面的反射率控制在10%的时候，多光束干涉对移相计算的误差将降低到7.2nm左右。最后介绍了可完全消除多光束干涉的动态膜设计和实际完成的设备。

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Error control of small gap phase shift measurement

DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2025.01.018

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