应用于梯度折射率测量的长波红外干涉仪

张祐诚; 郑东晖; 黄一飞; 李晶晶; 陈磊

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2025.02.010

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应用于梯度折射率测量的长波红外干涉仪

光学器件与系统设计 | 更新时间：2025-09-01

- 应用于梯度折射率测量的长波红外干涉仪
- Long wave infrared interferometer applied to gradient refractive index measurement
- 光学技术 2025年51卷第2期页码：169-174
- 作者机构：
  
  1:南京理工大学电子工程与光电技术学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  中央高校基本科研业务费专项资金(30923010934);国家自然科学基金(62005122);江苏省自然科学基金(BK20200458)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2025.02.010
  中图分类号： TH744.3
- 纸质出版：2025
- 稿件说明：
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张祐诚, 郑东晖, 黄一飞, 等. 应用于梯度折射率测量的长波红外干涉仪[J]. 光学技术, 2025,51(2):169-174.

Long wave infrared interferometer applied to gradient refractive index measurement[J]. 2025, 51(2): 169-174.
张祐诚, 郑东晖, 黄一飞, 等. 应用于梯度折射率测量的长波红外干涉仪[J]. 光学技术, 2025,51(2):169-174. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2025.02.010.

Long wave infrared interferometer applied to gradient refractive index measurement[J]. 2025, 51(2): 169-174. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2025.02.010.

摘要

红外梯度折射率材料折射率大且折射率变化大，导致干涉条纹密度大且密度变化大。为了精确测量红外梯度折射率材料，研究了一种λ=10.6μm红外马赫-曾德尔干涉仪，设计了一种变焦、定焦同步成像方案，解决了材料大梯度分布情况下条纹过密导致的难以测量难题，通过测量红外梯度折射率材料的透射波前从而得到其折射率分布。利用该干涉仪测量厚度为2mm的轴向梯度折射率样品和厚度为9mm的径向梯度折射率样品，得到两样品折射率变化分别为0.305和0.053。使用该干涉仪测量红外梯度折射率样品，样品折射率变化陡度最大为0.035。为了验证该干涉仪的测量精度，测量厚度为10mm的硅片的透射波前，结果表示折射率测量误差在10~(-5)量级。

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应用于梯度折射率测量的长波红外干涉仪

Long wave infrared interferometer applied to gradient refractive index measurement

DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2025.02.010

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