离轴双曲面光学系统检测与装调

刘伟光; 李阳; 赵金; 许航航; 田薇; 刘欣; 韩志超; 尹挺; 杨帆

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2025.03.007

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离轴双曲面光学系统检测与装调

光学器件与系统设计 | 更新时间：2025-09-01

- 离轴双曲面光学系统检测与装调
- Detection and alignment of off-axis hyperbolic optical system
- 光学技术 2025年51卷第3期页码：269-275
- 作者机构：
  
  1:西安应用光学研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  中国兵器工业集团自主科技创新项目(JG012023206)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2025.03.007
  中图分类号： TH74
- 纸质出版：2025
- 稿件说明：
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刘伟光, 李阳, 赵金, 等. 离轴双曲面光学系统检测与装调[J]. 光学技术, 2025,51(3):269-275.

Detection and alignment of off-axis hyperbolic optical system[J]. 2025, 51(3): 269-275.
刘伟光, 李阳, 赵金, 等. 离轴双曲面光学系统检测与装调[J]. 光学技术, 2025,51(3):269-275. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2025.03.007.

Detection and alignment of off-axis hyperbolic optical system[J]. 2025, 51(3): 269-275. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2025.03.007.

摘要

准直光学系统是光学测试装置的重要组成部分，在激光光束质量测量校准领域，对准直光学系统技术指标要求极为严格，文章介绍了一种离轴双曲面光学系统的高精度装配和调整方法。通过分析补偿法和无像差点法检验对双曲面反射镜圆锥系数k值的适用范围，根据主、次镜参数，分别选择补偿法和无像差点法进行面形检验，实现主次镜的高精度装配。结合离轴R-C系统结构特点，以机械端面及水平面为装调基准，使干涉仪光轴、平面镜法线、主镜光轴相互平行并与装调基准建立关系。通过分析次镜失调量与系统波相差之间的关系，采取计算机辅助装调，对次镜进行6个自由度的调整使系统波像差快速收敛，装调后系统波像差RMS优于0.0245λ@632.8nm

满足设计指标要求。

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